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NS系列磁吸式測針臺階儀臺階高度重復性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達亞埃米級，且垂直方向動態比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。

CEM3000簡易操作臺式掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設計，避免使用環境造成的影響，拓寬了應用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能，能夠對不同類型的樣品進行觀測，具有高空間分辨率。

CEM3000國產高性能掃描電鏡全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力，憑借空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調節，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

VT6000微納三維形貌共聚焦顯微鏡通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數的檢測中。

SuperViewW白光三維表面形貌儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

不同于立式電鏡，CEM3000國產全自主高性能桌面掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。